采用聚合氯化铝处理多晶硅生产废水的工艺流程

采用聚合氯化铝处理多晶硅生产废水的工艺流程法

    随着城市用水量的逐渐增大，水资源短缺越来越严重，如处理后水直接排放，浪费了宝贵的水资源。水回用势在必行，水回用具有极高的社会效益和环境效益，它一方面可以减少环境排污量，减少环境污染。多晶硅、单晶硅生产废水在电子半导体工业生产过程产生的废水。多晶硅生产和研磨过程中产生的废水水量较大、传统方法处理后出水的有毒有害金属离子、氟等不能稳定达标，对水资源环境造成的污染日益严重，同时由于我国水资源时空分布极不均匀，未回收利用的氯硅烷低沸物和氯化氢、提纯分离塔的不凝气体、还原炉开停炉置换尾气、各系统检修时的置换尾气等工艺废气经尾气淋洗塔淋洗处理产生的酸性废水，其水量与工艺废气的排放量、氯硅烷和氯化氢的浓度有直接关系。为确保处理后的废气达标排放，工艺废气的排放量或其中的氯硅烷、氯化氢浓度越大，产生的废水量越大。

 

　　聚合氯化铝溶液配制。A120，含量>30％、盐基度>80％的聚合氯化铝按比例缓慢投加到用回用水定容的聚合氯化铝溶解配置搅拌槽中，不断搅拌配制成5％的聚合氯化铝溶液，打开放液阀，使配制好的聚合氯化铝溶液进入溶液槽中供处理系统使用，两组溶液槽一组配制一组使用。

 

　　混合的实质是混凝荆水解产物在水中的扩散问题，使水中胶体颗粒同时脱稳产生凝聚，为取得好的絮凝效果创造条件，也是节省投药量的关键。本工艺采用管式微涡管道混合器作为混合设备，且聚合氯化铝溶液在输送泵前加入，PAM溶液在输送泵后加入，利用湍流微涡旋和离心惯性效应，实现了PAC、PAM（聚丙烯酰胺）水解产物在废水中的充分扩散，使废水中形成的胶体颗粒得到了更好的脱稳。加药量是根据絮凝沉淀系统出水水质进行调整的，一般控制每立方米废水投加5％PAC药液6一10L，投加0．5‰